規(guī)格：613×460×230mm
所屬類(lèi)型：加工精度測(cè)量?jī)x
品牌：中圖儀器
SJ6000高精度激光干涉儀測(cè)量具有豐富的模塊化組件，可根據(jù)具體測(cè)量需求而選擇不同的組件。主要鏡組為線(xiàn)性鏡組、角度鏡組、直線(xiàn)度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)。結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線(xiàn)性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。在動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件配合下，可實(shí)現(xiàn)線(xiàn)性位移、角度和直線(xiàn)度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè)，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析，如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。
1.測(cè)量精度高、速度快，穩(wěn)定性好
①SJ6000高精度激光干涉儀測(cè)量使用高性能氦氖激光器，結(jié)合伺服穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，達(dá)到高精度穩(wěn)頻(0.05ppm)
②以光波長(zhǎng)(633nm)為測(cè)量單位，分辨率可達(dá)nm級(jí)
③使用高速光電信號(hào)采樣和處理技術(shù)，測(cè)量速度可達(dá)到4m/s。
④配合有環(huán)境補(bǔ)償單元，在環(huán)境變化的情況下，也可以得到較高的測(cè)量精度
⑤分離式干涉鏡設(shè)計(jì)，避免了測(cè)量鏡組由于主機(jī)發(fā)熱而引起的鏡組形變
2. 應(yīng)用范圍廣
①可以實(shí)現(xiàn)線(xiàn)性、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平面度等幾何量的檢測(cè)
②結(jié)合軟件系統(tǒng)，可以用于速度，加速度，振動(dòng)分析以及穩(wěn)定度等分析
③可實(shí)時(shí)監(jiān)控精密加工機(jī)床等機(jī)器的動(dòng)態(tài)數(shù)據(jù)，進(jìn)行動(dòng)態(tài)特性分析
3.軟件界面友好
①使用當(dāng)前熱門(mén)的軟件界面開(kāi)發(fā)工具，軟件界面人性化，操作簡(jiǎn)單。
②將靜態(tài)測(cè)量和動(dòng)態(tài)測(cè)量?jī)煞N功能合并到一個(gè)軟件中，更方便用戶(hù)切換測(cè)量類(lèi)型。
③向?qū)讲僮?，流程清晰，更符合?guó)內(nèi)用戶(hù)的使用習(xí)慣。
SJ6000高精度激光干涉儀測(cè)量除了環(huán)境適應(yīng)能力好，還可以進(jìn)行動(dòng)態(tài)高速測(cè)量，選配相應(yīng)的功能模塊元件后可以測(cè)量振動(dòng)幅度、平面度、線(xiàn)速度、角速度等。
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